特許
J-GLOBAL ID：200903026136643341
板状物研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-115794
公開番号（公開出願番号）：特開平7-314301
出願日： 1994年05月30日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：
【要約】【目的】 被研磨物における板厚のうねりや誤差などに関係なく、常に被研磨面を一定に均一に研磨し得、全体の能率を向上し得る板状物研磨装置を提供する。【構成】 離間した加圧体30に板状物70をセットする。流体供給手段41は開放状態で可撓膜体33は扁平状にある。研磨盤10と加圧体30を接近して軽く当接させ、当接は最終加圧状態ではなく、相対的な接近速度を速くしても板状物70に衝撃を与えない。流体供給手段41により可撓膜体33の裏面側に流体を供給し、可撓膜体33を加圧して加圧面34を板状物70の被加圧面71に圧接する。可撓膜体33は、被加圧面71の形状(板厚のうねりや誤差)に沿って変形し、加圧面34は被加圧面71の全面に均一状に圧力をかける。研磨盤10の回転により被研磨面72に対する研磨を全面均一状に行える。
請求項（抜粋）：
機枠と、この機枠側に上下で相対向させて配置されかつ相対的に接近離間自在な加圧体ならびに研磨盤と、この研磨盤に連動する回転駆動装置とを有し、前記加圧体は、その加圧面を可撓膜体の表面により形成するとともに、この可撓膜体の裏面側に流体を供給する流体供給手段を設けたことを特徴とする板状物研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 7/22
, B24B 37/04
, B24B 41/06
