特許
J-GLOBAL ID:200903026143839812

インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-198516
公開番号(公開出願番号):特開平9-039257
出願日: 1995年08月03日
公開日(公表日): 1997年02月10日
要約:
【要約】【目的】 インクジェット記録ヘッドの製造方法に関し、特に圧電材料の変形を利用してインク吐出を行うヘッドにおいて、インク流路を構成する圧電材料への電極の形成方法を改善し、工程を簡略化する。【構成】 圧電材料からなる底部シート10に、熱可塑性フィルムをラミネートし(a)、電極の大きさと等しい深さの第一の溝15を形成する(b)。その全面に電極20となる金属膜を形成して(c)フィルムを除去する(d)。そして第一の溝15を掘り下げて第二の溝16を形成する(e)。その後、底部シート上に、溝を覆う頂部シートと、溝に連通するノズルを形成したノズル板を接合する。電極20に信号電圧を印加すると、側壁12は変位し溝に充したインクは加圧され、溝に連通するノズルからインクが吐出する。
請求項(抜粋):
圧電材料からなるシートに、インク流路となる多数の溝を形成するとともに、前記溝の側壁に電極を形成し、さらに前記溝を形成したシート上を他のシート材料で覆ってなり、前記電極に信号電圧を印加することにより、前記側壁を変位させ、前記溝に充されたインクを加圧することにより、前記溝に連通するノズルから、インクを吐出させるようにしたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記シートに形成すべき電極の高さに応じた深さの溝を形成する第1の工程と、前記溝を形成したシートの表面全面に一様に金属膜を形成する第2の工程と、前記溝の底部をさらに掘り下げる第3の工程とにより、前記電極を形成するようにしたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件):
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A
引用特許:
審査官引用 (2件)

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