特許
J-GLOBAL ID：200903026151087889
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025794
公開番号（公開出願番号）：特開平8-174399
出願日： 1995年01月23日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：
【要約】【目的】スラリーを用いることなく被研磨体を一様に研磨できる研磨装置を提供する。【構成】被研磨面と平行に往復運動し,かつ被研磨面と垂直面内で回転運動する研磨ヘッドにおいて,研磨テープの研磨圧力を一定に制御し被研磨面を一様に研磨できる研磨装置。当該研磨ヘッドは穴空き第1L字プレート32と,穴から垂直に突き出た垂直伸長体21を有する。第1L字プレート32の先端には研磨バッド22が配置され,研磨テープを押圧する。垂直伸長体21には第1L字プレート32と平行にノンシールシリンダ34が固定されている。該ノンシールシリンダの一端が上記研磨パッドの圧力を調節する。当該研磨ヘッドの回転角度及び研磨圧力はパルス信号として制御部に送られ,研磨圧力を一定に保つべくモータの回転角度及びシリンダへのエアー供給が最適に制御される。
請求項（抜粋）：
軸線に沿って貫通孔をもつ回転軸を有するモータと,前記貫通孔内で,軸線に沿って往復移動可能に収納され,その端が前記回転軸の端から突き出た軸と,前記回転軸に垂直に取り付けられた第2のプレートと,前記軸の先端に取り付けられた第1のプレートと,前記軸を往復移動させるための手段と,前記第1のプレートが前記第2のプレートに平行になったまま近づき,または遠ざかることができるように前記第1のプレートと前記第2のプレートとを連結する連結手段と,前記第1のプレートに垂直に固定された,研磨テープが掛けられるところの少なくとも2つのローラと,前記ローラの間に位置し,研磨テープと接触する平坦面を有する研磨パッドであって,前記第1のプレートに対して移動可能に取り付けられた研磨パッドと,前記研磨パッドを前記研磨テープに押しつけ,それによって被研磨体を研磨するための圧力調節手段と,前記研磨パッドの前記研磨テープとの接触面と反対側の面に位置する圧力センサと,から成る研磨装置において,前記研磨パッドを前記研磨テープに押しつけ,それによって被研磨体を研磨するための圧力調節手段は,前記第1のプレートに平行に取り付けられたノンシールシリンダであって,左右2つのエアー供給口を有し,該ノンシールシリンダの一端が前記研磨パッドと係合し,前記2つのエアーの圧力を同時に制御することにより研磨パッドが研磨テープを被研磨体の端面に押しつける圧力を調節することが可能である,ところのノンシールシリンダである,ところの研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 21/00
, H01L 21/304 321
