流体流量計

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230986
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094403
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】低流量域から高流量域までの広範囲にわたり高感度で流量を検出する。【構成】流体を導入する流体導入孔9の端面に弾性体の復元力により押圧された平板状の流体遮蔽板11と、この流体遮蔽板の位置を検知する位置検知手段13とから構成されている。流体の力に応じて流体遮蔽板11が変位するため、この変位を検知することにより、流量範囲の広い流体流量計となる。

請求項（抜粋）：