特許

J-GLOBAL ID：200903026163391117

荷電粒子線装置

発明者： 徳島 忍
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339965
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161716
出願日： 1995年12月04日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 真空室内の作業時間を短縮し、スループットの向上を図る。【解決手段】 大気中で基板10が載置されたパレット8が第1の所定位置に位置決めされた状態で保持台7上で保持される。アライメント光学系13ではパレット8の基準マーク9を検出する。この検出後、パレット8が大気中から真空室1内に搬送され、第1の所定位置に対応する第2の所定位置に位置決めした状態でステージ4に保持される。位置制御手段ではアライメント光学系13の検出結果に基づいてステージ4の位置を制御する。これにより、位置制御手段では光学系13で検出されたマーク9の位置情報に基づいて当該マーク9が真空室1内で電子鏡筒3の中心軸上に正確に一致するようにステージ4の位置を制御することが可能になり、真空室1内での基板10のラフ-アライメントが不要になる。

請求項（抜粋）：

真空室内で、基板に荷電粒子線光学系により荷電粒子線を照射して所定の処理を施す荷電粒子線装置であって、前記基板が載置されるとともに基準マークが形成されたパレットを、前記真空室と大気中との間で搬送する搬送手段と;前記パレットを第1の所定位置に位置決めした状態で大気中で保持する保持手段と;前記パレットの前記基準マークを前記大気中で検出する検出手段と;前記真空室内で、前記パレットを前記第1の所定位置に対応する第2の所定位置に位置決めした状態で保持し、2次元移動するステージと;前記検出手段の検出結果に基づいて、前記ステージの位置を制御する位置制御手段とを有する荷電粒子線装置。

IPC (7件)：

H01J 37/305 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

H01J 37/305 B ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/317 B ,  H01L 21/30 541 K ,  H01L 21/30 551