特許
J-GLOBAL ID：200903026169476238
走査型プローブ顕微鏡用プローブとその作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-152242
公開番号（公開出願番号）：特開平10-339736
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】少ない形状のばらつきで作製可能な、実質的な頂角が小さい探針部を持つ走査型プローブ顕微鏡用プローブを提供する。【解決手段】プローブ100は、弾性体から成る片持ち梁状の弾性部材部102が支持部101から延びており、その自由端に探針部103が形成されている。探針部103は平板三角形状をしており、その先端の二つの頂点104と105において三本の稜線が終端している。平板三角形状の探針部103の面法線方向とその先端の二点104と105を結ぶ稜線は平行である。これらの探針部103の先端の二つの終端点104と105が実質的な探針として作用し、試料表面との相互作用を生じる。片持ち梁状の弾性部材部102の面法線方向と平板三角形状の探針部103の面法線方向は平行でなく、従って、片持ち梁102は折れ曲がった形状をしている。
請求項（抜粋）：
支持部と、支持部に支持された片持ち梁状の弾性部材部と、弾性部材部の自由端に設けられた探針部とを有し、探針部は平板三角形状をしており、その面法線方向とその先端の稜線とが平行である走査型プローブ顕微鏡用プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
