特許

J-GLOBAL ID：200903026169861298

表面観察・記録再生装置

発明者： 矢野 亨治 ,  黒田 亮
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-190711
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021476
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】探針先端の付着物を効率的に除去して、より正確に媒体の表面観察あるいは媒体に記録された情報を再生することのできる表面観察・記録再生装置を提供すること。【解決手段】位置制御手段によって探針と媒体との相対位置を移動させ、相互作用検出手段により前記媒体と前記探針との間に発生する相互作用を検出して前記媒体の表面観察あるいは前記媒体に記録された情報を再生する表面観察・記録再生装置であって、前記探針先端に付着した付着物を除去する付着物除去機構を備え、該付着物除去機構が少なくとも前記媒体表面に平行な平面と前記媒体表面に垂直な平面とのなす角より小さい交角を構成する二つの面とその交線から形成される。

請求項（抜粋）：

位置制御手段によって探針と媒体との相対位置を移動させ、相互作用検出手段により前記媒体と前記探針との間に発生する相互作用を検出して前記媒体の表面観察あるいは前記媒体に記録された情報を再生する表面観察・記録再生装置であって、前記探針先端に付着した付着物を除去する付着物除去機構を備え、該付着物除去機構が少なくとも前記媒体表面に平行な平面と前記媒体表面に垂直な平面とのなす角より小さい交角を構成する二つの面とその交線から形成されてなることを特徴とする表面観察・記録再生装置。

IPC (5件)：

G01N 13/10 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G02B 21/00 ,  G11B 9/14

FI (6件)：

G01N 13/10 Z ,  G01N 13/10 G ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G02B 21/00 ,  G11B 9/14 F

Fターム (21件)：

2F063AA43 ,  2F063CA31 ,  2F063EA16 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F069AA60 ,  2F069DD13 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG11 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069MM00 ,  2H052AA07 ,  2H052AC34 ,  2H052AD07 ,  2H052AD20 ,  2H052AD31 ,  2H052AF21