特許
J-GLOBAL ID：200903026175557967
電子線照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-186691
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020297
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 被処理物により窓箔が傷つけられたり、破られたりするのを防止することができる電子線照射装置を提供する。【構成】 照射窓部30は、金属箔からなる窓箔32と、窓枠構造体34とを備える。窓枠構造体34は、窓枠44と、窓箔32を押さえて窓枠44に取り着ける押さえ板54とを有する。押さえ板54には大きな長方形状の開口部56が形成されており、この開口部56に多数のワイヤ58が架設されている。ワイヤ58は被処理物の搬送方向Xに対して所定の角度θだけ傾けられ、且つ直線状に架設されている。また、ワイヤ58には、モリブデンやタングステン等の融点の高い金属やセラミックス等の材質が使用される。
請求項（抜粋）：
電子線を発生する電子線発生部内の真空雰囲気と被処理物に電子線を照射する照射室内の照射雰囲気とを仕切ると共に前記電子線発生部で発生した電子線を前記照射室内に取り出す金属箔を有する照射窓部を備える電子線照射装置において、前記照射窓部の電子線を取り出す開口部に複数の金属線を架設したことを特徴とする電子線照射装置。
IPC (2件)：
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