特許
J-GLOBAL ID：200903026176471497
ポジ型感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048199
公開番号（公開出願番号）：特開平6-083048
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【構成】 (a)キノンジアジド基を有する特定のフェノール樹脂及び(b)アルカリ可溶性樹脂を必須成分として含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【効果】 本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、精製が容易であり、且つ溶剤の如何にかかわらずアルカリ可溶性樹脂との相溶性の良好なキノンジアジド化フェノール樹脂を感光性成分として用いているので、高感度である。更にアルカリ可溶性樹脂としてカルボン酸基を有する樹脂を用いた場合は、電着塗装法に特に適したポジ型感光性樹脂組成物である。また電着したポジ型感光性樹脂塗膜は、基板に対する密着性に優れ、微細な配線パターンを形成でき、更には電着液とした際に優れた長期安定性を示す。
請求項（抜粋）：
(a)下記一般式化1で示されるキノンジアジド化フェノール樹脂及び、(b)アルカリ可溶性樹脂を必須成分として含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
IPC (5件)：
G03F 7/023 501
, G03F 7/023 511
, C08L 65/00 LNY
, H01L 21/027
, H05K 3/00
