フッ化膜を有する部材の製造方法、これに使用する被処理部材およびフッ化膜を有する耐蝕性シール部材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166597
公開番号（公開出願番号）：特開2000-355754
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】金属、セラミックス、これらの複合材料からなる基体1と、基体の表面を被覆するフッ化膜とを備える部材を製造する際に、シール面5、6等の特定部位にはフッ化膜が生成せず、他の部分に良質なフッ化膜を生成させる。【解決手段】基体1の表面の少なくとも一部に、フッ素原子を含有する固形有機物からなるマスキング材9A、9Bを設け、基材1の表面にフッ化膜を形成し、次いで基体1の表面からマスキング材9A、9Bを除去する。

請求項（抜粋）：

金属、セラミックスまたはこれらの複合材料からなる基体と、この基体の表面を被覆するフッ化膜とを備えている、フッ化膜を有する部材を製造する方法であって、前記基体の表面の少なくとも一部にフッ素原子を含有する固形有機物からなるマスキング材を設け、この基体の表面にフッ化膜を形成し、次いで基体の表面からマスキング材を除去することを特徴とする、フッ化膜を有する部材の製造方法。

IPC (6件)：

C23C 8/06 , B32B 15/08 102 , C23C 8/04 , C23C 8/40 , C01F 7/50 , C04B 41/85

FI (6件)：

C23C 8/06 , B32B 15/08 102 B , C23C 8/04 , C23C 8/40 , C01F 7/50 , C04B 41/85 B

Fターム (20件)：

4F100AA05B , 4F100AB01A , 4F100AB10 , 4F100AB10A , 4F100AD00A , 4F100BA02 , 4F100EH902 , 4F100EJ012 , 4F100EJ422 , 4F100GB51 , 4F100GB90 , 4F100JB02 , 4F100JB02A , 4G076AA05 , 4G076AB01 , 4G076AB02 , 4G076BA09 , 4G076BD02 , 4G076BF01 , 4G076CA10

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