特許
J-GLOBAL ID：200903026183562635
赤外線検出器及びこれを用いたガス検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-201070
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044582
出願日： 1997年07月28日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 赤外線を吸収するための特別の吸収膜を用いることなしに、赤外線を検出することのできる赤外線検出器を提供する。【解決手段】 半導体基板1と支持膜2によりダイアフラム構造あるいはマイクロブリッジ構造を形成し、支持膜2上に赤外線を吸収するとともに温度変化を検知する赤外線吸収温度検出膜7を形成してなる赤外線検出器において、赤外線吸収温度検出膜7の厚みを検知する赤外線の波長の1/4の長さの整数倍となるようにした。
請求項（抜粋）：
半導体基板と支持膜によりダイアフラム構造あるいはマイクロブリッジ構造を形成し、前記支持膜上に赤外線を吸収するとともに温度変化を検出する赤外線吸収温度検出膜を形成してなる赤外線検出器において、前記赤外線吸収温度検出膜の厚みを検出する赤外線の波長の1/4の長さの整数倍となるようにしたことを特徴とする赤外線検出器。
IPC (4件)：
G01J 5/20
, G01J 1/02
, G01J 5/02
, G01N 21/61
G01J 5/20
, G01J 1/02 C
, G01J 5/02 J
, G01N 21/61
