特許
J-GLOBAL ID：200903026184700152
透過型電子顕微鏡および信号検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330099
公開番号（公開出願番号）：特開平9-167589
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】電子顕微鏡の観察系におけるシンチレータの光ファイバにおいて、入射した電子が集中する部位に電子の蓄積を防止する導電膜を配置し、光ファイバの破壊を発生させない。【解決手段】加速した電子が光ファイバ内に入射し停止する長さに光ファイバを切断し、光ファイバそのものを接地するために全面に導電膜処理を施し、その光ファイバを使用して電子顕微鏡のシンチレータを構成する。
請求項（抜粋）：
電子銃・加速管,コンデンサレンズ,試料ホルダ,対物レンズ,中間レンズそして投影レンズを含む電子光学系,写真撮影をするカメラ室を含む透過型電子顕微鏡において、電子顕微鏡の像をTVカメラで撮影するために設けた蛍光体を含むシンチレータに、静電破壊を防止するための導電膜処理を施した光ファイバを使用したことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/22 501
, G01T 1/20
, G02B 6/04
, H01J 37/244
H01J 37/22 501 C
, G01T 1/20 L
, G02B 6/04 G
, H01J 37/244
