特許

J-GLOBAL ID：200903026187289313

プラズマ発生装置

発明者： 坂本 雄一 ,  多田 重和 ,  鈴木 光博
出願人/特許権者： ニチメン電子工研株式会社 ,  株式会社ユーテック
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-072014
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270193
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】コイルとプラズマとの結合度の低下の恐れがなく、大直径のプラズマを一様性良く発生させることのできるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】複数のプラズマ発生体が同軸的に放電管内に配置されている。各プラズマ発生体は、互いに同軸的に配置された内筒10a,11aと外筒10b,11bと、この内筒内に同軸的に配置された第1のコイル14a,15aと、外筒の外周に巻回された第2のコイル14b,15bとを具備し、第1のコイルと第2のコイルとは、巻線ピッチが等しく、巻線方向が反対となるように設定されている。これらコイルに高周波電流が供給されることにより、これらコイル間に高周波磁界が発生されて、供給されたガスのプラズマを発生する。

請求項（抜粋）：

互いに同軸的に配置された内筒と外筒とからなる二重壁の筒体と、この筒体の内筒内に同軸的に配置された第1のコイルと、筒体の外筒の外周に巻回された第2のコイルとを具備し、第1のコイルと第2のコイルとは、巻線ピッチが等しく、巻線方向が反対となるように設定されており、これらコイルに高周波電流が供給されることにより、これらコイル間に高周波磁界が発生されて、供給されたガスのプラズマを発生することを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

H05H 1/46 L ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 B