特許

J-GLOBAL ID：200903026191268207

レーザー光照射用光学装置

発明者： 佐々木 俊一郎
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-104761
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297278
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 レーザー顕微鏡などに用いるレーザー光照射用光学装置において、測定試料上に小さなビームスポットを形成するためレーザービームを絞るための光学装置としてレンズ系を用いずにレーザービームの波長が紫外域の場合でも容易に対応する。【構成】 光源から発したレーザービームを被測定試料面上に小さく絞って照射する際に、中心に穴13を有した一つの凹面鏡1と該凹面鏡1と対面して同一の光軸上に配置された一つの凸面状反射手段2からなる一対の反射手段を用いてレーザー光照射を行う。光源のレーザーが2波長同時発振である場合には、前記凸面状反射手段2を平凸レンズとし該凸面21に皮膜処理を施して短波長の発振線を反射させ、もう一方の長波長の発振線は平凸レンズ内を透過してから集光スポットを結ぶようにする。

請求項（抜粋）：

レーザー光照射用光学装置において、(a)中心部にレーザー光を入射する穴が形成された凹面鏡と、(b)前記凹面鏡と同軸上で前記凹面鏡と反射面が互いに対面する様に配置された凸面状の反射手段とからなり、(c)前記凹面鏡の穴を通過したレーザー光を前記凸面状の反射手段によって前記凹面鏡の反射面に当て該反射光を前記光軸上に結ばせることを特徴とするレーザー光照射用光学装置。

IPC (3件)：

G02B 19/00 ,  G01N 21/64 ,  G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-068811
  
• 特開昭51-041537
  
• 特公昭40-022714