特許
J-GLOBAL ID：200903026193225246
減圧式縦型化学蒸着装置および化学蒸着方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124578
公開番号（公開出願番号）：特開平9-310179
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：
【要約】【目的】 減圧式縦型化学蒸着装置および化学蒸着方法に関するものである。【構成】 ガス導入口とガス排気口を有するベ-スプレ-トと反応容器と前記反応容器を加熱する加熱ヒ-タ-とよりなる減圧式縦型化学蒸着装置において、ベ-スプレ-トに2か所又は2か所以上設けたガス排気口とガス導入口を配置して、それぞれの開閉を行い安定した操業を行うようにした減圧式縦型化学蒸着装置および化学蒸着方法に関するものである。
請求項（抜粋）：
ガス導入口とガス排気口を有するベ-スプレ-トと反応容器と前記反応容器を加熱する加熱ヒ-タ-とで構成される減圧式縦型化学蒸着装置において、前記ベ-スプレ-トにガス排気口を2か所又は2か所以上設けたことを特徴とするベ-スプレ-ト。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 16/44 D
, B23B 27/14 A
