特許

J-GLOBAL ID：200903026194316890

基板搬送装置および基板搬送装置用カセット

発明者： 吉村 哲夫
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308819
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127137
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 カセット2に収納された基板1をロボットで次工程に搬送する装置において、スペースや費用の増大をもたらすセンタリング装置やセンサを使用せずに、基板1を正確に位置決めできる基板搬送装置およびカセットを提供する。【解決手段】 基板搬送装置のセット台3にカセット2を設置するに当たって、基板取出し側からみて、基板1が水平面から角度θだけ傾くようにカセット2を設置する基板搬送装置とする。基板1の取出し時には、ロボットアームは同じ角度θだけ回転してからカセット2内部に挿入される。カセット2は、基板受け10および上部が細くなるテーパ形状を含む基板ガイド8を備える。

請求項（抜粋）：

カセットに保持された基板を、ロボットハンドによって、略水平方向に取り出して、次工程に搬送する基板搬送装置であって、基板取出し方向から見たときに前記基板が水平面から傾くように前記カセットを設置する基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 7/04 ,  B65G 49/06

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B23Q 7/04 A ,  B65G 49/06 A

Fターム (18件)：

3C033DD04 ,  3C033HH06 ,  3C033HH11 ,  3C033HH21 ,  3C033HH24 ,  3C033HH26 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031EA07 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031GA24 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031KA17 ,  5F031PA20