特許
J-GLOBAL ID：200903026202943548
シード保持電極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150617
公開番号（公開出願番号）：特開2002-338226
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 接続治具を用いて鳥居型にセットされる2本1組のシードの長さに不揃いが存在する場合に、その不揃いを解消せずに、接続治具を水平に保持して、その傾斜に伴う局部的な過熱を防止する。【解決手段】 シード10の下端部を支持するスタンド20を、雄ねじ部材からなる第1受け台30により支持する。第1受け台30は、雌ねじ部材からなる固定式の第2受け台40により、昇降可能に支持される。第1受け台30の昇降により、シード10の支持高さを調節する。高さ調節後、ロックナット50により第1受け台30を固定する。
請求項（抜粋）：
気相成長法による多結晶シリコンの製造に使用される還元炉内に棒状のシードを支持し、且つそのシードに通電を行なうために前記還元炉に設けられるシード保持電極において、前記シードの下端部を支持する支持部を昇降可能とし、該支持部の昇降により、前記シードの支持高さを調節できるように構成したことを特徴とするシード保持電極。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 33/021
, C01B 33/02 E
4G072AA01
, 4G072BB12
, 4G072GG04
, 4G072HH01
, 4G072NN01
, 4G072RR11
