特許

J-GLOBAL ID：200903026222001344

改良された膜厚測定の方法と装置

発明者： フックス マーティン ,  ジョフィー ミヒャエル ,  バネット マッツ
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 沢田 雅男
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-577479
公開番号（公開出願番号）：特表2002-527770
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2002年08月27日
要約：

【要約】【課題】 単層および多層構造内の薄膜の厚みを効果的に測定するISTSのような全光学的、非接触の測定技術を、改善すること。【解決手段】 少なくとも一つの空間位相と空間周期を有する励起パターンによりサンプルの部分を照らし、サンプル表面からのプローブビームの一部を回析させ、光-誘起された信号を発生させて光学検出器によりプローブビームの回析された一部を検出し、そしてサンプルの特性を決定するために光-誘起された信号を処理することにより、サンプルの特性を測定する方法と装置が、記述されている。励起パターンの空間位相を調整し、かつ少なくとも一つの付加光-誘起された信号を発生させるために照射、回析、および検出ステップを繰り返すことによって、この方法はかなり改善される。

請求項（抜粋）：

- 少なくとも一つの空間位相と空間周期を有している励起パターンでサンプルの部分を照射するステップ;- 前記サンプルの表面によりプローブビームの一部を回析させるステップ;- 光検出器により前記プローブビームの回析された部分を検出し、光-誘起された信号を発生させるステップ、そして- 前記光-誘起された信号を処理し、前記サンプル特性を決定するステップを有するサンプル特性を測定する方法において、- 励起パターンの前記空間位相をディザリングするステップ;- 光-誘起された少なくとも一つの追加信号を発生させるために照射、回折、および検出ステップを反復するステップ、そして- サンプル特性を決定するために前記光-誘起された信号の全てを処理するステップをさらに有することを特徴とする方法。

Fターム (18件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065BB22 ,  2F065BB24 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL57 ,  2F065UU07