特許

J-GLOBAL ID：200903026232129667

電界電子放出素子とその製造方法

発明者： 元井 雄一 ,  佐藤 利江
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-066552
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270085
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】低電圧でオン・オフを制御できる電界電子放出素子を均一に作製するための方法を提供する。【解決手段】基板上にカーボンナノチューブの触媒金属層と絶縁層と金属層の積層膜とをこの順番に作製し、その後フォトリソグラフィーとドライエッチングによりカーボンナノチューブの触媒金属層を露出させる開口を設け、カーボンナノチューブを成長し電界電子放出素子を作製する。または、基板上に作製したカーボンナノチューブの触媒金属層の上に犠牲層となる柱状のレジスト構造体を作製し、絶縁体を蒸着後、表面研磨をおこなうことにより絶縁体障壁層中にエミッタを開口する孔を作製する。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に設けられた下地層と、前記下地層上に設けられた触媒層と、前記触媒層上に設けられ、前記触媒層に達する開口を有する絶縁層と、前記絶縁層上に設けられたグリッド層と、前記開口内で前記触媒層上に設けられ、長尺方向が前記開口部の側壁に沿うカーボンナノチューブを備えることを特徴とする電界電子放出素子。

IPC (4件)：

H01J 1/304 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/26 ,  H01J 9/02

FI (4件)：

C01B 31/02 101 F ,  C23C 16/26 ,  H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 F

Fターム (13件)：

4G046CA01 ,  4G046CA02 ,  4G046CB03 ,  4G046CB08 ,  4G046CC02 ,  4G046CC06 ,  4G046CC08 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030CA06 ,  4K030FA01 ,  4K030LA18