特許
J-GLOBAL ID：200903026238069070
X線発生装置の真空度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-253076
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060642
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 X線発生装置内に反跳電子が発生する場合にも、電離真空計を用いて正確にX線発生装置内の真空度を測定できる真空度測定装置を提供する。【構成】 管壁1内を真空に保持した状態でフィラメント3から放出された電子をターゲット2に衝突させてX線を発生するX線発生装置に用いられる真空度測定装置であって、管壁1に取り付けられた電離真空計6と、電離真空計6のイオン導入口6aの近傍に設けられた磁石8a,8bとを有している。磁石8a,8bはイオン導入口6aと直角方向の磁力線を発生する。
請求項（抜粋）：
管壁内を真空に保持した状態でフィラメントから放出された電子をターゲットに衝突させてX線を発生するX線発生装置に用いられる真空度測定装置において、上記管壁に取り付けられた電離真空計と、電離真空計のイオン導入口の近傍に設けられた磁界発生手段とを有しており、磁界発生手段はイオン導入口と直角方向の磁力線を発生することを特徴とする真空度測定装置。
IPC (2件)：
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