特許

J-GLOBAL ID：200903026242115443

ステージ装置および露光装置

発明者： 高橋 正人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273455
公開番号（公開出願番号）：特開2001-102279
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】 振動の影響を回避しながら高精度の位置制御を行う。【解決手段】 試料を保持して移動するステージ本体2と、ステージ本体2に設けられ、ステージ本体2の速度に関する情報を検出する速度検出部54〜56と、速度検出部54〜56の検出結果に基づいてステージ本体2の移動速度を制御する速度制御系とを備えた。

請求項（抜粋）：

試料を保持して移動するステージ本体と、該ステージ本体に設けられ、該ステージ本体の速度に関する情報を検出する速度検出部と、該速度検出部の検出結果に基づいて前記ステージ本体の移動速度を制御する速度制御系とを備えたことを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521

FI (7件)：

G01B 11/00 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 525 D

Fターム (15件)：

2F065AA03 ,  2F065AA09 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065EE06 ,  2F065FF55 ,  2F065FF64 ,  2F065LL12 ,  2F065PP22 ,  5F046AA23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046DA30