特許

J-GLOBAL ID：200903026246968149

検査用拡散光源

発明者： 小林 雄二
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-336822
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139439
出願日： 2000年11月06日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 圧延痕等による反射散乱特性の変動の影響を緩和するのに十分な光拡散特性を得るとともに、光の使用効率を向上できるようにすること。【解決手段】 リング照明10と照明対象Fとの間に、リング照明10と照明対象とを結ぶ光路を遮らないようにその光路のかかる部分を切り欠いたフレネルレンズ22を設置した構成とする。フレネルレンズ22によってリング照明11の虚像Bが発生させられ、リング照明10を多段に設置したのと同等の効果が得られることから、市販のリングファイバー照明等にフレネルレンズを付加するという簡単な構成によって、圧延痕等による反射散乱特性の変動の影響を緩和するのに十分な光拡散特性を得るとともに、光の使用効率が向上し、より明るい光源を実現することができる。

請求項（抜粋）：

リング照明と照明対象との間に、リング照明と照明対象とを結ぶ光路を遮らないようにその光路のかかる部分を切り欠いたフレネルレンズを設置したことを特徴とする検査用拡散光源。

IPC (5件)：

G01N 21/84 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/01 ,  G02B 3/08 ,  H01L 23/50

FI (5件)：

G01N 21/84 E ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/01 D ,  G02B 3/08 ,  H01L 23/50 Z

Fターム (28件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC27 ,  2F065GG17 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL03 ,  2F065LL43 ,  2F065QQ04 ,  2G051AA65 ,  2G051BA20 ,  2G051BB09 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CC09 ,  2G059AA05 ,  2G059BB15 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK04 ,  2G059PP10 ,  5F067AA19