特許
J-GLOBAL ID：200903026255312515
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-233604
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083632
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 被測定体であるパネルを変形させることなく位置決めする位置決め手段によりパネルを位置決めして測定を行う形状測定装置を提供すること。【構成】 パネルWを載置する位置決め部材19が、溶液lを収容する容器17の中に設置されており、パネルWは溶液lに浸漬された状態で位置決め部材19上に位置決めされる。レーザセンサ5の投光器7から照射されるレーザ光Lsや受光部9で受光する光Lcは、溶液l内を透過したものであり、測定データを、溶液lの大気に対する屈折率を用いて、測定点の実際の位置に補正する。
請求項（抜粋）：
被測定体が載置される載置台を有する位置決め手段と、前記被測定体に対してレーザ光を照射する投光手段と照射されるレーザ光により前記被測定体表面の測定点に形成される照射像からの光を受光する受光手段とを有するレーザセンサと、前記受光手段において測定される測定データから、前記被測定体表面の測定点の位置を算出する位置算出手段とを有する形状測定装置において、前記位置決め手段を、溶液が収容される容器内に設置し、前記位置算出手段により算出される前記測定点の位置を、前記溶液の大気に対する屈折率を用いて補正する補正手段を、前記位置算出手段に接続することを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
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