特許
J-GLOBAL ID：200903026257116586
基板保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278923
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107235
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：
【要約】【課題】 真空シールにOリング等のリング状のパッキンを使用しており、しかも真空シール性能が良く、かつ当該パッキンの寿命の長いクランプ解除機構を有する基板保持装置を提供する。【解決手段】 この基板保持装置を構成する各クランプ解除機構20aは、真空容器4の内外を仕切る壁面を貫通する回転軸42と、回転軸42が前記壁面を貫通する部分を真空シールするリング状のパッキン48と、回転軸42を往復回転させるアクチュエータ50と、回転軸42の先端部に固定されたクランクアーム54と、クランクアーム54に回転自在に取り付けられた第1コロ58と、第1コロ58を収めている長円形穴62を有するスライダー60と、スライダー60の直線運動をガイドするリニアガイド64と、スライダー60に固定されたアーム68に回転自在に取り付けられていてスライダー60の前進によって、基板を押さえ付けているクランパーに当接して当該クランパーを押し開く第2コロ70とを備えている。
請求項（抜粋）：
真空容器内に収納されていて基板を支持するプラテンと、前記基板の端部を相対向する位置で前記プラテンに対してそれぞれ押さえ付けてクランプする二つの回転式のクランパーと、この各クランパーに前記クランプする力をそれぞれ付与するばねと、前記各クランパーによるクランプを互いに同時に解除する二つのクランプ解除機構とを備える基板保持装置において、前記各クランプ解除機構は、前記真空容器の内外を仕切る壁面を貫通する回転軸と、この回転軸が前記壁面を貫通する部分を真空シールするリング状のパッキンと、前記真空容器外に設けられていて前記回転軸を所定の角度範囲内で往復回転させるアクチュエータと、前記回転軸の真空容器内側端部に固定されたクランクアームと、このクランクアームに回転自在に取り付けられた第1コロと、この第1コロを収めている長円形穴を有するスライダーと、このスライダーの直線運動をガイドするリニアガイドと、前記スライダーまたはそれに固定された部材に回転自在に取り付けられていて前記スライダーの前進によって前記クランパーに当接して当該クランパーを押し開く第2コロとをそれぞれ備えている、ことを特徴とする基板保持装置。
IPC (4件)：
C23C 14/50
, H01J 37/317
, H01L 21/265
, H01L 21/68
C23C 14/50 D
, H01J 37/317 B
, H01L 21/68 N
, H01L 21/265 603 D
4K029JA01
, 4K029KA05
, 5C034CC09
, 5F031HA24
, 5F031HA27
, 5F031HA28
, 5F031HA29
, 5F031MA31
, 5F031NA09
