特許

J-GLOBAL ID：200903026264135219

真空チャンバ内でワークピースを制御する方法及び装置

発明者： スミック, セオドア, エイチ. ,  ライディング, ジオフレイ ,  ファーリー, マーヴィン
出願人/特許権者： オリオン イクウィプメント インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-511178
公開番号（公開出願番号）：特表2001-516151
出願日： 1998年09月03日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：

【要約】真空チャンバ(24)内部のワークピース(18)を制御するために使用する装置。ワークピース(18)は、真空チャンバ(24)内部のワークピースホルダー(10)に支えられている。ワークピース(18)は、X軸を中心に回転され、ワークピースホルダー(10)の表面上のXY平面のY方向に沿って前後に平行移動され、Z軸を中心にXY平面内で回転される。

請求項（抜粋）：

チャンバ壁を有する真空チャンバと、 前記真空チャンバ内に配置され、前記チャンバ壁を貫通して延びているワークピースホルダーと、 前記ワークピースホルダーを受ける往復運動部材と、 前記往復運動部材と前記チャンバ壁の間に配置された回転部材とを有する装置。

IPC (5件)：

H01L 21/265 603 ,  H01L 21/265 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/265 603 C ,  C23C 14/48 Z ,  H01J 37/317 B ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/265 N

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-109166
  
• 特開昭64-012452
  
• 特開平4-319242