特許
J-GLOBAL ID：200903026269563529
内部特性分布の計測方法および装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-334674
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026585
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 測定対象物についての測定値から直接的に基準値を求めることを可能とし、その基準値に基づいて測定対象物における内部特性分布の信頼性の高いすなわち高精度の測定が可能な方法および装置の提供。【解決手段】 測定対象物の表面における複数の光入射位置から順次対象物中に測定光を入射するステップと、対象物中を透過した測定光を、光検出位置で順次あるいは同時に検出するステップと、各光検出位置で検出された各測定光に基づいて、該測定光の所定パラメータの測定値を求めるステップと、前記位置関係が相対的に同じである光入射位置と光検出位置との複数の組み合わせによって求められた測定値を抽出し、測定値の平均値を算出して基準値を得るステップと、前記複数の組み合わせによって求められた測定値と、基準値とを用いて、対象物の各領域における所定内部特性の変化量を算出して対象物における内部特性変化量分布を求めるステップと、を具備する。
請求項（抜粋）：
測定対象物の表面における複数の光入射位置から順次該対象物中に測定光を入射するステップと、該対象物中を透過した測定光を、前記対象物の表面における複数の光検出位置のうちの少なくとも1つの光検出位置であってかつ測定されるべき測定光が入射された光入射位置に対して所定の位置関係にある光検出位置で順次あるいは同時に検出するステップと、各光検出位置で検出された各測定光に基づいて、該測定光の所定パラメータの測定値を求めるステップと、前記位置関係が相対的に同じである前記光入射位置と前記光検出位置との複数の組み合わせによって求められた複数の前記測定値を抽出し、該測定値の平均値を算出して該位置関係における基準値を得るステップと、前記複数の組み合わせによって求められた前記複数の測定値と、前記基準値とを用いて、複数の領域に分割された前記対象物の各領域における所定内部特性の変化量を算出して該対象物における内部特性変化量分布を求めるステップと、を具備する、内部特性分布の計測方法。
IPC (4件)：
G01N 21/17
, A61B 10/00
, G01B 11/00
, G01J 1/00
G01N 21/17 A
, A61B 10/00 E
, G01B 11/00 B
, G01J 1/00 Z
