特許
J-GLOBAL ID：200903026274664376
洗浄装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-100695
公開番号（公開出願番号）：特開2007-270322
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】めっき槽を通過したフィルムをローラで搬送する際に、ローラを少量の洗浄液で効率よく確実に洗浄し、汚れの付着やめっき液の析出を防止する。【解決手段】めっき槽60Aから洗浄装置70Aに感光ウエブ18を搬送するローラ74、76が配置されている。ローラ74、76には、それぞれ洗浄装置200A、202Aが設けられている。洗浄装置200A、202Aは、ローラ76の下部が洗浄水205に浸漬される洗浄液受け槽204と、洗浄液受け槽204の洗浄水205の水面を一定に保つオーバーフロー堰206を備えている。ローラ76には、洗浄水205中でフレキシブルブレード212が当接している。洗浄液受け槽204には、上部の洗浄水管理槽220から導入管218、供給管216を通って洗浄水205が供給される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴の下流側に配置され、次工程へ前記フィルムを空中搬送するローラを洗浄する洗浄装置であって、
前記ローラの下部が洗浄液に浸漬される洗浄液受け槽と、
前記洗浄液受け槽に洗浄液を供給する供給手段と、
を有することを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C25D7/06 M
, C25D17/00 K
, C25D7/06 B
4K024BC01
, 4K024CB26
, 4K024EA01
