遠隔UVレーザシステム及び使用方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：熊倉禎男 , 大塚文昭 , 今城俊夫 , 西島孝喜
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-521886
公開番号（公開出願番号）：特表2005-533380
出願日： 2003年07月11日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】 UV及び可視レーザシステム及びその使用方法、特に半導体検査又は処理に適するUV及び可視レーザシステムを提供する。【解決手段】発振器空洞を形成する高反射器及び出力カプラを備えたモードロックレーザシステムを含むレーザ装置。出力ビームは、発振器空洞から発生される。発振器空洞には、利得媒体及びモードロック装置が配置される。ダイオードポンプ源は、利得媒体に入射するポンプビームを発生する。第2高調波発生器は、発振器空洞に結合される。UV出力ビームを発生する第3高調波発生器は、第2高調波発生器に結合される。光結晶ファイバには、レーザシステムに結合した近位端が設けられる。送出装置は、光結晶ファイバの遠位部分に結合される。

請求項（抜粋）：

発振器空洞を形成する高反射器及び出力カプラと、該発振器空洞に配置された利得媒体及びモードロック装置と、該利得媒体に入射するポンプビームを発生するダイオードポンプ源と、該発振器空洞と第3高調波発生器とに結合した第2高調波発生器とを含み、UV出力ビームを発生するモードロックUVレーザシステムと、前記UVレーザシステムに結合した近位端を有する光結晶ファイバと、前記光結晶ファイバの遠位端に結合した送出装置と、を含むことを特徴とするレーザ装置。

IPC (3件)：

H01S3/10 , H01S3/00 , H01S3/109

FI (3件)：

H01S3/10 , H01S3/00 B , H01S3/109

Fターム (6件)：

5F172AE09 , 5F172AF02 , 5F172DD01 , 5F172EE13 , 5F172NR22 , 5F172ZZ04

引用特許：

出願人引用 (5件)

米国特許第5,627,854号
米国特許第4,914,658号
米国特許第6,021,140号

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