特許
J-GLOBAL ID：200903026276189187

静電チャック

発明者：
会田 比呂史

会田 比呂史 について

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伊東 裕見子

伊東 裕見子 について

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福留 武郎

福留 武郎 について

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三上 一彦

三上 一彦 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314953
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154746
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】200°C以下の温度雰囲気下においてジョンソン・ラーベックによる高い吸着力が得られる窒化アルミニウム製静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャックの吸着面を窒化アルミニウムを主相とし、窒化チタンを10〜30容量%とセリウムを酸化物換算で2〜10容量%含有してなる窒化アルミニウム質焼結体により形成する。
請求項（抜粋）：
被固定物を吸着保持する吸着面が、窒化アルミニウムを主相とし、窒化チタンを10〜30容量%とセリウムを酸化物換算で2〜10容量%含有してなる窒化アルミニウム質焼結体からなることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  C04B 35/581
FI (2件)：
H01L 21/68 R ,  C04B 35/58 104 B
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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