特許

J-GLOBAL ID：200903026276333440

多種ガス検出装置

発明者： 田井 秀男 ,  山本 和成
出願人/特許権者： 東京瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207599
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026804
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】【目的】 複数の半導体レーザ素子を用いて多種類のガスを同時に検出するガス検知装置の各半導体レーザ素子の発振波長を同時に安定化する。【構成】 周波数f1 で変調された半導体レーザ素子20aのレーザ光と、周波数f2 で変調された半導体レーザ素子20bのレーザ光とをビームスプリッタ23で混合し、複数の参照用ガスが封入された参照用セル22内のガスを通過させた後受光器24で受光し、メタン用波長制御装置21aで周波数f1 に対応したレーザ光の発振波長を安定化し、同時にアセチレン用波長制御装置21bで周波数f2 に対応したレーザ光の発振波長を安定化する。

請求項（抜粋）：

発振波長の異なる複数の半導体レーザと、該各半導体レーザの駆動電流をそれぞれ異なる所定の周波数で変調する変調手段とを備え、該変調手段により変調され複数のガスが封入された測定用セルを通過したレーザ光を用いて該測定用セル内のガスの濃度を検出する多種ガス検出装置であって、前記各半導体レーザから出射するレーザ光を混合する混合手段と、複数の参照用ガスが封入された参照用セルと、該参照用セルを透過したレーザ光を受光する受光手段と、該受光手段の出力から前記所定の周波数に等しい周波数成分を検出し、該周波数成分に基づいて前記各半導体レーザの波長をそれぞれ安定化する複数の波長安定化手段とを設けたことを特徴とする多種ガス検出装置。