特許
J-GLOBAL ID：200903026281147964
二酸化珪素被膜の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252352
公開番号（公開出願番号）：特開平7-081925
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 処理液調整槽において発生する気泡が処理液調整槽から流出することを防止し、良質な二酸化珪素被膜を成膜することのできる二酸化珪素被膜の製造装置を提供する。【構成】 二酸化珪素の過飽和状態となった珪弗化水素酸溶液を含む処理液2と、該処理液2を被処理基板3と接触させて該基板表面に二酸化珪素被膜を析出させる処理槽1と、前記処理液2の二酸化珪素の過飽和状態を維持するために活性材7を溶解させる処理液調整槽4と、前記処理液2を前記処理槽1と前記処理液調整槽4に循環させる循環手段5と、該処理液2の循環路に配置された濾過手段6とを備えた二酸化珪素被膜の製造装置において、相隣接して一体的に構成された前記処理槽1と前記処理液調整槽4間にバッフルプレート11を配置し、前記処理槽1をオーバフローした処理液2は該バッフルプレート11により仕切られた前記処理液調整槽4内を下方から上方に流れ、該処理液調整槽4をオーバフローして循環する。
請求項（抜粋）：
二酸化珪素の過飽和状態となった珪弗化水素酸溶液を含む処理液と、該処理液を被処理基板と接触させて該基板表面に二酸化珪素被膜を析出させる処理槽と、前記処理液の二酸化珪素の過飽和状態を維持するために活性材を溶解させる処理液調整槽と、前記処理液を前記処理槽と前記処理液調整槽に循環させる循環手段と、該処理液の循環路に配置された濾過手段とを備えた二酸化珪素被膜の製造装置において、相隣接して一体的に構成された前記処理槽と前記処理液調整槽間にバッフルプレートを配置し、前記処理槽をオーバフローした処理液は該バッフルプレートにより仕切られた前記処理液調整槽内を下方から上方に流れ、該処理液調整槽をオーバフローして循環するように構成されたことを特徴とする二酸化珪素被膜の製造装置。
IPC (5件)：
C01B 33/12
, B01J 19/00
, C23C 18/00
, H01L 21/316
, C23C 18/16
