特許
J-GLOBAL ID：200903026283459360
磁気ヘッド基板の加工終点検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013789
公開番号（公開出願番号）：特開平5-205222
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明は抵抗検出素子の膜厚にバラツキが生じたり、加工時に測定部の温度が変化しても、正確に所定の加工終点を検出することができる信頼性、量産性に優れた磁気ヘッド基板の加工終点検出方法の提供を目的とする。【構成】 磁気ヘッド基板1と、前記磁気ヘッド基板1上に形成され加工に伴って研削される金属薄膜よりなる抵抗検出素子4を備え、前記抵抗検出素子4の抵抗値の変化によって前記磁気ヘッド基板1の加工終点を検出する磁気ヘッド基板の加工終点検出方法であって、前記抵抗検出素子4近傍の前記磁気ヘッド基板1上の加工されない部分に前記抵抗検出素子4と同時に形成され同一の組成及び膜厚を有する標準抵抗素子9を備え、前記抵抗検出素子4の前記標準抵抗素子9に対する前記抵抗検出素子の相対抵抗値の変化によって前記磁気ヘッド基板1の加工終点を検出する構成からなる。
請求項（抜粋）：
磁気ヘッド基板と、前記磁気ヘッド基板上に形成され加工に伴って研削される金属薄膜よりなる抵抗検出素子を備え、前記抵抗検出素子の抵抗値の変化によって前記磁気ヘッド基板の加工終点を検出する磁気ヘッド基板の加工終点検出方法であって、前記抵抗検出素子近傍の前記磁気ヘッド基板上の加工されない部分に前記抵抗検出素子と同時に形成され同一の組成及び膜厚を有する標準抵抗素子を備え、前記抵抗検出素子の前記標準抵抗素子に対する前記抵抗検出素子の相対抵抗値の変化によって前記磁気ヘッド基板の加工終点を検出することを特徴とする磁気ヘッド基板の加工終点検出方法。
IPC (3件)：
G11B 5/31
, G11B 5/127
, G11B 5/39
