特許
J-GLOBAL ID:200903026283808232

積層ベルトリング検査方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 村上 友一 ,  大久保 操
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-260278
公開番号(公開出願番号):特開2004-101240
出願日: 2002年09月05日
公開日(公表日): 2004年04月02日
要約:
【課題】積層ベルトリングの端面に生じた微小な傷も確実に検出することができ、また、同時に傷の大きさも自動的に検出できる方法と装置を提供する。【解決手段】積層ベルトリングの端面傷の検査装置である。ベルトリング端面を撮像可能で焦点距離を変更可能とした顕微鏡カメラと、当該顕微鏡カメラの少なくともベルトリング端面の面方向に移動可能とした駆動手段を備える。また、前記顕微鏡カメラによる撮像データから三次元画像を生成する画像処理手段および、前記積層ベルトリングと顕微鏡カメラとを相対的に周回移動させつつ顕微鏡の焦点を移動させてベルトリング端面を撮像することにより得た三次元画像データにより表示する表示手段を備え、積層ベルトリング端面の傷の深さと数の検出可能とした。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
積層ベルトリングの端面傷の検査方法であって、ベルトリングを周回移動させつつベルトリング端面を顕微鏡の焦点を移動させて撮像することにより得た三次元画像データにより積層ベルトリング端面の傷の深さと傷の大きさを検出することを特徴とする積層ベルトリング検査方法。
IPC (2件):
G01B11/30 ,  G01N21/952
FI (2件):
G01B11/30 A ,  G01N21/952
Fターム (24件):
2F065AA25 ,  2F065AA49 ,  2F065CC00 ,  2F065FF04 ,  2F065MM04 ,  2F065PP03 ,  2F065PP13 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA07 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051AC15 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051CC20 ,  2G051DA06 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051FA10
引用特許:
審査官引用 (2件)

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