特許

J-GLOBAL ID：200903026284187479

成膜処理装置の排気システム構造

発明者： 堀内 孝 ,  小林 仙尚 ,  伊藤 昌秀 ,  五味 久
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030059
公開番号（公開出願番号）：特開平9-202973
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 ポンプ内において未反応の有機金属材料を分解させないようにしてポンプの下流側でこれを除害するようにした排気システム構造を提供する。【解決手段】 有機金属材料26を用いて被処理体に成膜を施す成膜処理装置2の排気システム構造において、前記成膜処理装置に接続さてれ排気ガスを流すための排気通路32と、この排気通路の上流側に介設されて、内部に多数の回転羽根50を有すると共にこの回転羽根の軸受部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段65を有するターボ分子ポンプ36と、このターボ分子ポンプの下流側に介設されたドライポンプ38と、このドライポンプに設けられて前記有機金属材料の熱分解温度よりも低い温度に冷却する冷却手段100と、前記ドライポンプの下流側に設けられて前記排気ガス中に含まれる有機金属材料を除害する除害手段134とを備えるように構成する。これにより、両ポンプ内では有機金属材料が熱分解しないようにし、これを下流側の除害手段にて除去する。

請求項（抜粋）：

有機金属材料を用いて被処理体に成膜を施す成膜処理装置の排気システム構造において、前記成膜処理装置に接続さてれ排気ガスを流すための排気通路と、この排気通路の上流側に介設されて、内部に多数の回転羽根を有すると共にこの回転羽根の軸受部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を有するターボ分子ポンプと、このターボ分子ポンプの下流側に介設されたドライポンプと、このドライポンプに設けられて前記有機金属材料の熱分解温度よりも低い温度に冷却する冷却手段と、前記ドライポンプの下流側に設けられて前記排気ガス中に含まれる有機金属材料を除害する除害手段とを備えたことを特徴とする成膜処理装置の排気システム構造。

IPC (3件)：

C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285

FI (3件)：

C23C 16/44 E ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285 C