表面状態検査方法および基板検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-364400
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270173
出願日： 2002年12月16日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】従来と同様の光学系を用いて傾斜角度にかかる分解能を向上し、検査の精度を向上する。【解決手段】 R,G,Bの各色彩光を発光する光源8,9,10が異なる仰角方向に配置された投光部4を具備する基板検査装置において、はんだ付け部位を含む検査領域について、赤,緑,青の各色成分のうち、これら色成分の強度の平均値を上回る1または2個の色成分を抽出する。この抽出処理により、各光源8,9,10に適合する傾斜面は、それぞれ赤,緑,青の単色の濃淡画像に変換される。さらに光源8,9に適合する傾斜面の境界位置は、赤と緑との混合色の濃淡画像に変換され、光源9,10に適合する傾斜面の境界位置は、緑と青との混合色の濃淡画像に変換される。

請求項（抜粋）：

検査対象物に対し、仰角が異なる複数の方向からそれぞれ異なる色彩光を照射した照明状態下で、前記検査対象物からの反射光を撮像するステップと、前記撮像により得られた画像に対し、検査対象物の画像を含む画像領域内の画素毎に、各色彩光に対応する色成分のうち強度が最大となる1の色成分を抽出する処理、または強度が最大の色成分と強度が2番目に大きい色成分とを抽出する処理のいずれかを、各色成分の強度の関係に基づき選択して実行するステップと、前記画像領域における色成分の抽出処理結果を示す画像データを用いて、前記検査対象物の表面状態を検査するステップとを実行するようにした表面状態検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , G01J 3/08 , G01J 3/46

FI (4件)：

G01N 21/956 B , G01J 3/08 , G01J 3/46 Z , G01B 11/24 K

Fターム (43件)：

2F065AA54 , 2F065BB02 , 2F065CC26 , 2F065CC27 , 2F065DD03 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG17 , 2F065GG23 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2F065NN02 , 2F065PP12 , 2F065QQ04 , 2F065QQ08 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065QQ31 , 2F065SS04 , 2F065SS06 , 2F065SS13 , 2G020AA08 , 2G020DA05 , 2G020DA13 , 2G020DA22 , 2G020DA34 , 2G020DA52 , 2G051AA62 , 2G051AA65 , 2G051AB14 , 2G051BA01 , 2G051BB01 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA12 , 2G051EA17 , 2G051EB01 , 2G051EC03 , 2G051ED07

引用特許：

出願人引用 (1件)

特公平6-1173号公報

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