荷電粒子ビーム走査型画像表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109788
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306538
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】荷電粒子ビーム走査型画像表示装置において低い観察倍率内にある観察対象物を高い観察倍率にもってゆくときに、ステージ移動操作と観察倍率の拡大操作を交互におこなう。この2種類の操作を交互におこなうときは操作目線が表示されている観察像の中へ入ったり出たりして操作性が悪かった。【解決手段】ホイールコントロール付きマウス9を使い、マウスカーソルが観察像の中にあるときマウスクリックするとクリックしたポイントが視野中心になるようにステージ4を移動させホイールコントロールを回転させると観察倍率をアップダウンさせるようにする。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と前記荷電粒子源から引き出された荷電粒子ビームを集束するための集束レンズ系からなる荷電粒子ビーム発生部と、前記荷電粒子ビームを偏向走査するための偏向機構と、前記荷電粒子ビームが照射される試料を載置し移動可能な試料ステージと、前記荷電粒子ビームを照射することにより発生する二次荷電粒子を検出する二次荷電粒子検出器と、前記二次荷電粒子検出器の出力強度を読み込んで二次荷電粒子像を表示する表示機器を有するコンピュータと、前記コンピュータの入力手段のホイールコントロール付きマウスからなる荷電粒子ビーム走査型画像表示装置において、前記マウスカーソルを前記表示機器のうえに表示されている前記二次荷電粒子像の上にもってゆき、前記ホイールを回転させることにより前記偏向機構の走査範囲を変化させ前記二次荷電粒子像の観察視野を変化させることを特徴とする荷電粒子ビーム走査型画像表示装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-031654 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
地図表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-021842 出願人：日立エンジニアリング株式会社

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