特許

J-GLOBAL ID：200903026294707780

PLZTの駆動方法及びそのマイクロアクチュエータ

発明者： 東山 恵三 ,  山本 啓介
出願人/特許権者： 三菱電線工業株式会社
代理人 (1件)： 藤本 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-169992
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014153
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：

【要約】【目的】 歪量に優れるPLZT(3/52/48)の駆動方法、及びそれを利用して充分な動作量を示すマイクロアクチュエータを得ること。【構成】 Pb1-0.03La0.03(Zr0.52Ti0.48)1-0.03/4O3からなる光歪体を、波長が350〜380nmのレーザー光の照射により変形させるPLZTの駆動方法、及び前記光歪体に光ファイバを介して波長が350〜380nmのレーザー光を照射するようにしてなるマイクロアクチュエータ。【効果】 所定のレーザー光の照射でPLZT(3/52/48)を大きな歪量で変形でき、光ファイバを介したレーザー光の照射で受光面積が小さい場合にも大きな動作量が得られて、内視鏡等のマイクロ装置に容易に組込みうる実用たりうるマイクロアクチュエータを形成できる。

請求項（抜粋）：

Pb1-0.03La0.03(Zr0.52Ti0.48)1-0.03/4O3からなる光歪体を、波長が350〜380nmのレーザー光の照射により変形させることを特徴とするPLZTの駆動方法。

IPC (2件)：

F03G 7/00 ,  C04B 35/49