特許
J-GLOBAL ID：200903026302026860
感光膜共重合体を利用した感光膜及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353131
公開番号（公開出願番号）：特開平10-207070
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 半導体素子の高集積化に必要なリソグラフィ工程を可能とし、半導体素子の高集積化に十分な微細パターンを形成し、半導体素子の特性及び信頼性を向上させるための紫外線用感光膜共重合体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 遠紫外線用感光膜共重合体の製造方法において、二つ以上の脂環式オレフィンを加圧反応器に注入し、加圧反応器に開始剤を添加した後加圧反応器を窒素ガス雰囲気に形成し、加圧反応器を高温、高圧に調整して加圧反応器内部の物質を反応させる工程で遠紫外線用感光膜共重合体を形成する。
請求項（抜粋）：
2-シクロペンテン-1-酢酸、2-シクロペンテン-1-(t-ブチルアセテート)、ビシクロ[2,2,2]オクト-5-エン-2-t-ブチルカルボキシレート、ビシクロ[2,2,2]オクト-5-エン-2-カルボン酸、2-t-ブチルカルボキシレート-5-ノルボルネン、2-カルボン酸-5-ノルボルネン、シクロペンテン、シクロヘキセン、ノルボニレン、及びノルボニレン-2-メタノール等でなる群から少なくとも二つ以上の脂環式オレフィンが重合された感光膜共重合体。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601
, C08F 2/48
, C08F 32/00
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, C08F 2/48
, C08F 32/00
, H01L 21/30 502 R
