特許

J-GLOBAL ID：200903026302948261

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 大森 宏紀 ,  古田 達彦
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-349677
公開番号（公開出願番号）：特開2000-174246
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】平坦化層の平坦性が十分に得られ、薄膜化が可能で、マイクロレンズを安定して形成することができる固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタ画素の間隙に熱フロー性を有する樹脂のパターンを形成する工程、前記パターンを加熱溶融する工程により平坦化層を設ける。更に、熱硬化性樹脂層を形成する工程を具備することが好ましい。

請求項（抜粋）：

カラーフィルタ上にオンチップマイクロレンズを形成した固体撮像素子の製造方法において、少なくともカラーフィルタ画素の間隙に熱フロー性を有する樹脂のパターンを形成する工程、前記パターンを加熱溶融する工程を少なくとも具備することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

H01L 27/14 D ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 V

Fターム (22件)：

2H048BA11 ,  2H048BB02 ,  2H048BB07 ,  2H048BB10 ,  2H048BB13 ,  2H048BB28 ,  2H048BB46 ,  4M118AA05 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118GC07 ,  4M118GC13 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA31 ,  5C024EA04 ,  5C024EA08 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11