特許
J-GLOBAL ID：200903026303923785
IC試験用恒温槽装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-238786
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072201
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 被試験ICの温度を正確に制御し、被試験ICの温度を正確に表示手段に表示するIC試験用恒温槽装置を提供する。【構成】 記憶手段3には被試験ICの温度と制御温度との関係を示すIC温度-制御温度データ、雰囲気温度と被試験ICの温度との関係を示す雰囲気温度-IC温度データをそれぞれ記憶し、IC温度-制御温度データによって、制御温度検出手段2Cにより検出された制御温度を補正し、この補正値に基づいて加熱・冷却手段2Bによる温度制御を行い、雰囲気温度-IC温度データによって、雰囲気温度検出手段2Dにより検出された雰囲気温度を補正し、この補正値を表示手段4に表示する。
請求項（抜粋）：
被試験ICが内部に設けられ、内部を加熱または冷却する加熱・冷却手段(2B)と加熱・冷却手段(2B)の温度である制御温度を検出する制御温度検出手段(2C)と恒温槽(2) の内部の雰囲気温度を検出する雰囲気温度検出手段(2D)を備える恒温槽(2) と、被試験ICを目的温度にするべく前記制御温度に基づいて加熱・冷却手段(2B)を制御する制御手段(1) とを備えるIC試験用恒温槽装置において、被試験ICの温度と前記制御温度との関係を示すIC温度-制御温度データと前記雰囲気温度と前記被試験ICの温度との関係を示す雰囲気温度-IC温度データをそれぞれ記憶手段(3) に記憶し、記憶手段(3) から読み出した前記IC温度-制御温度データに基づいて、前記制御温度を補正して加熱・冷却手段(2B)の制御をするとともに、記憶手段(3) から読み出した雰囲気温度-IC温度データに基づいて、前記雰囲気温度を補正して表示手段(4) に表示することを特徴とするIC試験用恒温槽装置。
IPC (2件)：
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