特許
J-GLOBAL ID：200903026307975879
エアロマイクロマシーニングの方法及びこの方法を用いて加工した薄板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093219
公開番号（公開出願番号）：特開平5-285836
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】複雑なエッチングパターン通りのエッチングを被加工面に施すことができ、垂直の穴、溝加工が簡単にでき、数百μmのエッチング深さを得ることのできるエアロマイクロマシーニングの方法とこの方法を用いて加工した薄板を得る。【構成】被加工物1の被加工面に所要パターンを形成したマスク2を被せ、被加工物又は噴射ノズル4のいずれか一方を固定し、噴射ノズル又は被加工物の他方を長方形の噴口5の短辺方向に揺動させるとともに、長方形の噴口の寸法を被加工物の被加工面の寸法より大きくすることにより、マスク上から固気2相流を高速噴射して、被加工物の被加工面に表面加工をする。
請求項（抜粋）：
微粒子と気体の固気2相流を長方形の噴口を有する噴射ノズルから被加工物の被加工面に高速噴射して表面加工するエアロマイクロマシーニングの方法において、前記被加工物の被加工面に所要パターンを形成したマスクを被せ、前記被加工物又は噴射ノズルのいずれか一方を固定して、前記被加工物又は噴射ノズルの他方を前記長方形の噴口の短辺方向に揺動させるとともに、前記長方形の噴口の寸法を前記被加工物の被加工面の寸法より大きくすることにより、前記マスク上から前記固気2相流を高速噴射して、前記被加工物の被加工面に表面加工したことを特徴とするエアロマイクロマシーニングの方法。
IPC (2件)：
B24C 1/04
, H01L 21/304 301
