特許
J-GLOBAL ID:200903026314531226

磁気ディスク媒体の欠陥検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山口 巖 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-334889
公開番号(公開出願番号):特開2001-155333
出願日: 1999年11月25日
公開日(公表日): 2001年06月08日
要約:
【要約】【課題】 磁気サーティファイ検査を、飛ばしトラックピッチで行なう場合の妥当性を検証可能とする。【解決手段】 工程1で大きな欠陥の検査を行ない、工程2で有害な突起などの検査をした後、サーティファイ検査を飛ばしトラックピッチで行なうことで(工程3参照)、スループットを向上させた欠陥検査において、全トラック検査の場合に比較してどのくらいの試験漏れや良品低下を招くかの指標として誤良品判定率および誤不良品判定率を算出し(工程4参照)、飛ばしトラック検査が妥当かどうかをチェックできるようにする。
請求項(抜粋):
光学的検査手段で大きな欠陥を検出し、磁気的サーティファイ検査手段で微小欠陥の数を検出し、そのサーティファイ検査では1トラックピッチ検査(全トラック検査)ではなく飛ばしトラックピッチ検査(飛ばしトラック検査)を行なうことによりサーティファイ検査のスループットを向上させる磁気ディスク媒体の欠陥検査方法において、前記サーティファイ検査で全トラック検査から飛ばしトラック検査とすることにより、誤って良品と判定してしまう媒体の割合および誤って不良品と判定してしまう媒体の割合を、それぞれ統計的手法により推定可能にしたことを特徴とする磁気ディスク媒体の欠陥検査方法。
IPC (5件):
G11B 5/84 ,  G11B 5/00 ,  G11B 20/18 501 ,  G11B 20/18 ,  G11B 20/18 572
FI (6件):
G11B 5/84 C ,  G11B 5/00 D ,  G11B 20/18 501 C ,  G11B 20/18 501 F ,  G11B 20/18 572 B ,  G11B 20/18 572 F
Fターム (7件):
5D091AA08 ,  5D091FF02 ,  5D091HH20 ,  5D112AA24 ,  5D112JJ05 ,  5D112JJ06 ,  5D112JJ09

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