特許

J-GLOBAL ID：200903026314756180

マスフローコントローラ取付構造

発明者： 見方 裕一 ,  須藤 良久 ,  五島 憲一 ,  板藤 寛 ,  小島 章裕
出願人/特許権者： シーケーディ株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-129937
公開番号（公開出願番号）：特開平10-069317
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】 交換容易なマスフローコントローラの取付構造を提供すること。【解決手段】 マスフローコントローラの取付構造は、(1)マスフローコントローラ用マニホールドポート14bが、マニホールドプレート14,15の上面に形成され、(2)側面にマスフローコントローラ5の入力ポートまたは出力ポートと連通するための第一連通ポートと、底面にマスフローコントローラ用マニホールドポートと連通するための第二連通ポートと、第一連通ポートと第二連通ポートとを連通する連通路44a,45aと、上面と下面とを貫通する一対のボルト孔とが形成されている取付ブロック44,45を有し、(3)取付ブロック44,45をマニホールドプレート14,15に対して、一対のボルト孔を用いて4本の取付ボルト41により上から取り付けるている。

請求項（抜粋）：

片側面に入力ポートが形成され、反対側側面に出力ポートが形成されたマスフローコントローラを、マスフローコントローラ用マニホールドポートが形成されたマニホールドプレートに取り付けるマスフローコントローラ取付構造において、前記マスフローコントローラ用マニホールドポートが、前記マニホールドプレートの上面に形成され、側面に前記マスフローコントローラの前記入力ポートまたは前記出力ポートと連通するための第一連通ポートと、底面に前記マスフローコントローラ用マニホールドポートと連通するための第二連通ポートと、前記第一連通ポートと前記第二連通ポートとを連通する連通路と、上面と下面とを貫通する一対のボルト孔とが形成されている取付ブロックを有し、前記取付ブロックを前記マニホールドプレートに対して、前記一対のボルト孔を用いて4本の取付ボルトにより上から取り付けることを特徴とするマスフローコントローラ取付構造。

IPC (5件)：

G05D 7/00 ,  C23F 4/00 ,  F16K 27/00 ,  G01F 1/68 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

G05D 7/00 Z ,  C23F 4/00 Z ,  F16K 27/00 B ,  G01F 1/68 ,  H01L 21/302 F