特許

J-GLOBAL ID：200903026314825840

微小ワークの移載装置および移載方法

発明者： 中里 真一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-098680
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299418
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 微小ワークを対象として吸着状態の良否を正確に判定して安定した移載動作を行うことができる微小ワークの移載装置及び移載方法を提供する。【解決手段】 微小なチップ4を真空吸着によってピックアップして所定位置へ移載する微小ワークの移載装置において、吸着ノズルから真空吸引する真空吸引手段の吸引流量を吸着保持用の第1の吸引流量と吸着状態検出用の第2の吸引流量との間で切り換える流量切り換え手段を備え、チップ4を吸着ノズル8aによって吸着保持した後に吸引流量を第2の吸引流量へ切り換えた状態での真空吸引回路の真空圧検出結果に基づいて、吸着ノズル8aへのチップ4の吸着状態を判定する。これによりワーク吸着の有無による真空圧検出値の差を大きくすることができ、細径ノズルを用いる場合にあっても、真空圧によって吸着状態を正しく判定することができる。

請求項（抜粋）：

微小ワークを真空吸着によってピックアップして所定位置へ移載する微小ワークの移載装置であって、前記微小ワークに当接してこの微小ワークを吸着保持する吸着ノズルと、この吸着ノズルから真空吸引する真空吸引手段と、この真空吸引手段の吸引流量を吸着保持用の吸引流量として設定される第1の吸引流量と吸着状態検出用の吸引流量として設定される第2の吸引流量との間で切り換える流量切り換え手段と、吸着ノズルに連通した真空吸引回路の真空圧を検出する真空圧検出手段と、前記第2の吸引流量で吸引したときの前記真空圧検出手段による真空圧検出結果に基づいて吸着ノズルへの微小ワークの吸着状態を判定する吸着状態判定手段とを備えたことを特徴とする微小ワークの移載装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/50 ,  H01L 21/52

FI (5件)：

H01L 21/68 E ,  B25J 15/06 B ,  B25J 15/06 N ,  H01L 21/50 C ,  H01L 21/52 F

Fターム (12件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FU04 ,  5F031CA13 ,  5F031GA23 ,  5F031JA21 ,  5F031JA22 ,  5F031JA45 ,  5F031JA47 ,  5F031MA40 ,  5F047FA08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-035096
  
• 電子部品装着ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-322042   出願人：松下電器産業株式会社