特許

J-GLOBAL ID：200903026314941513

片面研削方法および片面研削装置

発明者： 奥山 哲雄 ,  高田 道浩
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-179427
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358106
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 片面研削装置で仕上研削を行う際に、仕上研削後にウェーハに形成される条痕やすじの向きを揃えることによって、割れやすい抗折強度の弱いチップをウェーハから作らないようにする。【解決手段】 仕上砥石41を回転させ、ウェーハWを回転させることなく、X方向右側に向けてウェーハWを直線的に移動させる。次に、仕上砥石41を仕上砥石41の厚さ分よりもわずかに短い距離だけY方向に前進させ、ウェーハWをX方向左側に移動させる。以降、同様の手順によって仕上砥石41を仕上砥石41の厚さ分よりもわずかに短い距離だけY方向に前進させたら、ウェーハWをX方向に移動させる手順を繰り返して、仕上砥石41によるウェーハWの面全体に仕上研削を行う。

請求項（抜粋）：

平面研削砥石からなる仕上砥石を回転させて被加工物の片面を仕上研削するにあたり、前記被加工物を回転方向に停止させた状態で、前記仕上砥石および前記被加工物のうちの少なくとも一方を、前記被加工物の被研削面に沿って相対的に直線方向に移動させながら面全体に仕上研削を行うことを特徴とする片面研削方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 631 ,  B24B 7/02 ,  B24B 7/20

FI (3件)：

H01L 21/304 631 ,  B24B 7/02 ,  B24B 7/20

Fターム (3件)：

3C043BA09 ,  3C043BA12 ,  3C043CC03