特許
J-GLOBAL ID：200903026316322896
窒化ケイ素-炭化ケイ素複合焼結体の熱処理方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261942
公開番号（公開出願番号）：特開平6-116072
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 窒化ケイ素-炭化ケイ素複合焼結体の表面精度を高め、強度のバラツキを無くし、しかも破壊靱性を向上させる。【構成】 窒化ケイ素-炭化ケイ素複合焼結体を、酸化あるいは非酸化性雰囲気中において、800〜2300°Cの温度で熱処理した後、該熱処理表面を除去する。
請求項（抜粋）：
平均粒径1μm以下の炭化ケイ素粒子が粒界に分散し、かつ数nmから数百nmの炭化ケイ素粒子が窒化ケイ素粒子内に分散した微構造を有する窒化ケイ素- 炭化ケイ素複合焼結体を製造する方法において、得られた焼結体を、酸化性あるいは非酸化性雰囲気中において800〜2300°Cで熱処理を行い、しかる後熱処理表面層を除去することを特徴とする窒化ケイ素- 炭化ケイ素複合焼結体の製造方法。
IPC (3件)：
C04B 41/91
, C04B 35/58 102
, C04B 41/80
