特許
J-GLOBAL ID：200903026320307370
基板の搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
江原 省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-179316
公開番号（公開出願番号）：特開平10-027838
出願日： 1996年07月09日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】比較的に簡単な構成によって基板を不所望に隠蔽することなく、しかも、サイズの異なる品種の搬送にも対応可能な基板の搬送装置を提供すること。【解決手段】薄板状の基板を搬送方向に配列した複数の受けロ-ラ3にほぼ垂直に載置した状態で一定方向に搬送する基板の搬送装置であって、前記受けロ-ラ3に隣接する部位に搬送方向に沿ってほぼ垂直に配置したベ-ス板と、このベ-ス板に搬送方向に分散して配置したベルヌ-イチャック2と、基板の搬送手段とを具備し、前記基板の一方の面にベルヌ-イチャック2による吸着力を作用させることにより、基板を受けロ-ラ上でベルヌ-イチャック2に接触させることなく、ほぼ垂直状態に姿勢保持し、この状態で基板を搬送手段によって一定方向に搬送するように構成した。
請求項（抜粋）：
薄板状の基板を搬送方向に配列した複数の受けロ-ラにほぼ垂直に載置した状態で一定方向に搬送する基板の搬送装置であって、前記受けロ-ラに隣接する部位に搬送方向に沿ってほぼ垂直に配置したベ-ス板と、このベ-ス板に搬送方向に分散して配置したベルヌ-イチャックと、基板の搬送手段とを具備し、前記基板の一方の面にベルヌ-イチャックによる吸着力を作用させることにより、基板を受けロ-ラ上でベルヌ-イチャックに接触させることなく、ほぼ垂直状態に姿勢保持し、この状態で基板を搬送手段によって一定方向に搬送することを特徴とする基板の搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65H 5/22
, H05K 13/02
H01L 21/68 C
, B65H 5/22 A
, H05K 13/02 U
