特許
J-GLOBAL ID:200903026321592508

自由曲面研磨砥石

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-243915
公開番号(公開出願番号):特開平9-066469
出願日: 1995年08月30日
公開日(公表日): 1997年03月11日
要約:
【要約】【課題】安価にかつ容易に自由曲面をもつ広範な種類の被研磨材を均一な表面品質で研磨できる研磨工具を提供すること。【解決手段】金属台座1の内部に注入口6から流体5を充填した後、注入口用栓7で密封し、砥石ペレット台4に接着或は固定された各砥石ペレット2が、被研磨面から受ける圧力に応じ、任意のストロークで軸方向に摺動可能な研磨工具。
請求項(抜粋):
内部に中空部を設けて流体を充填密封できる金属台座と、該金属台座の上面もしくは下面の一方に設けた複数の孔部を介して回転軸方向に可動する複数の砥石ペレットとを備えることを特徴とする自由曲面研磨砥石。

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