特許

J-GLOBAL ID：200903026321782820

移載搬送装置及び移載搬送方法

発明者： 西崎 準 ,  宇治田 稔
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-191466
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022689
出願日： 1996年07月02日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】フイルムの位置をずらすことなくかつフイルムを変形させずに、フイルムを移載搬送することが困難であつた。【解決手段】単数又は複数の吸着穴が穿設された第1の保持部材を吸着保持すると共に、第1の保持部材の吸着穴を介してフイルムを第1の保持部材の一面側に吸着保持し、第1の保持部材の一面側を第2の保持部材の一面側に載置することによりフイルムを第1の保持部材と第2の保持部材との間に挟み込むように保持し、当該第1及び第2の保持部材を一体に次工程へ搬送する。これにより、フイルムの移載時及び搬送時においてフイルムの位置ずれ及びフイルムの変形を確実に防止することができる。また各工程間における処理の連続性を確保することができる。かくして製品の歩留り及び生産性を格段的に向上し得る移載搬送装置及び移載搬送方法を実現することができる。

請求項（抜粋）：

フイルムを移載搬送する移載搬送装置において、単数又は複数の吸着穴が穿設された第1の保持部材と、上記第1の保持部材と上記フイルムを挟み込むようにして保持する第2の保持部材と、上記第1の保持部材を吸着保持すると共に、上記フイルムを上記吸着穴を介して上記第1の保持部材の一面側に吸着保持する吸着保持手段と、上記フイルムを挟み込むようにして保持した上記第1の保持部材と上記第2の保持部材とを一体に次工程へ搬送する搬送手段とを具え、上記吸着保持手段は、上記フイルムを上記吸着穴を介して上記第1の保持部材の上記一面側に吸着保持した後、上記第1の保持部材の上記一面側を上記第2の保持部材の一面側に載置することを特徴とする移載搬送装置。