特許
J-GLOBAL ID：200903026334304404
マルチスリット投光器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-063232
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264246
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】3次元計測用のマルチスリット投光器に関し、干渉光の強度分布を平坦化し、中心部の非干渉光オフセット強度を小さくすることを目的とする。【構成】回折方向が互いに直交する第1の回折格子1と第2の回折格子2に光源の平行光を入射して2次元スポット像からなる回折出力光を発生し、円筒レンズ3に回折出力光を入射して、第1または第2の回折格子のいずれかの回折方向に分散された複数の平行スリット光からなるスリット光列を出力し、各スリット光に対応するセグメントを持つシャッタアレイ4によって、スリット光列中の所定のスリット光を遮断してコード化したスリット光出力を発生するマルチスリット投光器において、シャッタアレイ4の各セグメントの透過率をスリット光列中の各スリット光の光強度に対応して変化させ、またはシャッタアレイ4の表面または後段に各スリット光の光強度を補正するフィルタ5を設けることで構成する。
請求項（抜粋）：
回折方向が互いに直交するように配置され、光源からの平行光を入射されて、2次元スポット像からなる回折出力光を発生する第1の回折格子(1)および第2の回折格子(2)と、該回折出力光が入射されて、該第1の回折格子(1)または第2の回折格子(2)のいずれか一方の回折方向に分散された複数の平行スリット光からなるスリット光列を出力する円筒レンズ(3)と、該スリット光列の各スリット光に対応するセグメントを有し、該スリット光列中の所定のスリット光を遮断してコード化したスリット光出力を発生するシャッタアレイ(4)とを備えてなるマルチスリット投光器において、該シャッタアレイ(4)における各セグメントの透過率を前記スリット光列における各スリット光の光強度に対応して変化させたことを特徴とするマルチスリット投光器。
IPC (2件)：
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